By this author

Selecting a target for obtaining films of higher manganese silicide using magnetron sputtering

Issue number 3 from 01.03.2024

Магнетронным распылением из трех видов мишеней получены тонкие пленки силицидов марганца на слюде. Микроструктура и элементный состав мишеней и пленок исследованы методами растровой электронной микроскопии и дифракции электронов на отражение. Фазовый состав и структуру пленок по толщине (поперечные срезы) контролировали методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии. Показано, что при осаждении пленок из поли- и монокристаллической мишеней высшего силицида марганца, в отличие от мишени из спеченных порошков Мn и Si, после последующего отжига при температуре 800 К и давлении 10^–3 Па в течение 1 ч можно получить поликристаллические пленки высшего силицида марганца состава Mn₄Si₇.

126 0