Статьи автора

Проблемы высокодозной ионной имплантации ионов гелия в кремний

Номер выпуска 3 от 01.03.2024

Рассмотрены закономерности изменения морфологии поверхности и развития пористой структуры монокристаллического кремния в зависимости от режимов ионной имплантации и отжига. Определены критические дозы имплантации для образцов до и после постимплантационного отжига, при которых наблюдается эрозия поверхности: имплантация ионами гелия до флюенса ниже 3 × 10¹⁷ He⁺/см² без пост-имплантационного отжига не изменяет морфологию поверхности монокристаллического кремния; отжиг образцов, имплантированных флюенсом 2 × 10¹⁷ He⁺/см² и выше, вызывает флекинг (образование чешуек (отслоение)).

116 0