Проведен анализ результатов структурных исследований методами рентгеновской и электронно-микроскопической диагностики пленок NiO, полученных при магнетронном напылении. Показано различие структуры и состава пленок разной толщины до и после термообработки. Обсуждаются причины этих различий, а также причины формирования слоя на границе раздела, важного для получения стабильных наноразмерных пленок NiO на подложках сапфира.
Индексирование
Scopus
Crossref
Высшая аттестационная комиссия
При Министерстве образования и науки Российской Федерации