Проведен анализ результатов структурных исследований методами рентгеновской и электронно-микроскопической диагностики пленок NiO, полученных при магнетронном напылении. Показано различие структуры и состава пленок разной толщины до и после термообработки. Обсуждаются причины этих различий, а также причины формирования слоя на границе раздела, важного для получения стабильных наноразмерных пленок NiO на подложках сапфира.
Indexing
Scopus
Crossref
Higher Attestation Commission
At the Ministry of Education and Science of the Russian Federation