By this author

FEATURES OF VISUALIZATION OF THE THREE-DIMENSIONAL STRUCTURE OF MESOPOROUS PZT FILMS BY FIB-SEM NANOTOMOGRAPHY

Issue number 1 from 15.09.2025

Представлена методика исследования 3D-структуры пористых пленок цирконата-титаната свинца с помощью FIB-SEM-нанотомографии. Получены такие количественные характеристики, как общая пористость, удельная площадь поверхности, а также реальный размер пор, рассчитанный по методу локальной толщины. Размер пор по данным FIB-SEM-нанотомографии составляет 77 ± 33 нм для пленки с порогеном PVP и лишь 27 ± 6 нм для пленки с порогеном Brij76, что близко к предельному разрешению для данного метода. Показано, что на итоговую 3D-модель оказывают сильное влияние выбранные параметры ионного пучка в процессе резания, при варьировании которых возможно получение структуры без искажений или визуализация скопления пор на границах зерен.

13 0