Везде
Исследование свойств поверхностных акустических волн в монокристалле ниобата лития с пленкой диоксида кремния методом конечных элементов
Оглавление
Аннотация Оценить Содержание публикации
Библиография Комментарии
Поделиться
QR
Метрика
Исследование свойств поверхностных акустических волн в монокристалле ниобата лития с пленкой диоксида кремния методом конечных элементов
Аннотация
Код статьи
S0023476124010105-1
Тип публикации
Статья
Статус публикации
Опубликовано
Авторы
Балышева О. Л.  
Аффилиация: Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. В.И. Ульянова (Ленина)
Выпуск
Том 69 Номер выпуска 1
Страницы
71-78
Аннотация
Приведены результаты расчетов характеристик поверхностных акустических волн в структурах монокристалл ниобата лития/пленка диоксида кремния, используемых для повышения термостабильности акустоэлектронных устройств на монокристаллических подложках. Выполнено моделирование методом конечных элементов в пакете COMSOL и рассчитаны скорость, коэффициент электромеханической связи и температурный коэффициент частоты в структурах с ниобатом лития различных срезов. Сравнение полученных результатов с известными данными из литературных источников показало хорошее совпадение. Практическая значимость заключается в использовании полученных параметров при разработке различных классов акустоэлектронных устройств.
Классификатор
Получено
18.05.2024
Всего подписок
0
Всего просмотров
11
Оценка читателей
0.0 (0 голосов)
Цитировать   Скачать pdf

Библиография

1. Двоешерстов М.Ю., Петров С.Г., Чередник В.И и др. // ЖТФ. 2001. Т. 71. № 4. С. 89.

2. Туркин И.А. // T-Comm: Телекоммуникации и транспорт. 2020. Т. 14. № 3. С. 24.

3. Сучков С.Г. // Радиотехника и электроника. 2006. Т. 51. № 4. С. 504.

4. Багдасарян А.С., Синицына Т.В., Дорофеева С.С. // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. 2017. Т. 17. № 1. С. 1.

5. Zhgoon S., Shvetsov A., Patel M.S. et al. // 2009 IEEE International Ultrasonics Symposium. 2009. P. 2647.

6. Yamanouchi K., Sato H., Meguro T. et al. // IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency Control. 1995. V. 42. P. 392.

7. Балышева О.Л. // Радиотехника. 2017. № 5. С. 57.

8. Зеленка И. Пьезоэлектрические резонаторы на объемных и поверхностных акустических волнах: Материалы, технология, конструкция, применения: Пер. с чешск. М.: Мир, 1990. 584с.

9. Дьелесан Э., Руайе Д. Упругие волны в твердых телах. Применение для обработки сигналов. Пер. с франц. / Под ред. Леманова В.В. М.: Наука, 1982. 424 с.

10. Kovacs G., Anhorn M., Engan H. et al. // Proc. 1990 IEEE Ultrasonics Symposium. 1990. V. 1. P. 435.

11. Wang Y., Liu X., Shang S. et al. // 2019 14th Symposium on Piezoelectrcity, Acoustic Waves and Device Applications (SPAWDA). 2019. P. 1.

12. Aslam M.Z., Jeoti V., Karuppanan S. et al. // International Conference on Intelligent and Advanced System (ICIAS). 2018. P. 1.

13. Morgan D. Surface Acoustic Wave Filters With Applications to Electronic Communications and Signal Processing. Amsterdam; London: Academic Press. 2007, 448р.

14. Campbell C.K. Surface Acoustic Wave Devices for Mobile and Wireless Communications. San Diego: Academic Press, 1998. 631 p.

15. Smith R.T., Welsh F.S. // J. Appl. Phys. 1971. Т. 42. № 6. P. 2219.

16. Ma R., Liu W., Sun X. et al. // Micromachines. 2022. V. 13. P. 202.

17. Hao W., Luo W., Zhao G. et al. // 2019 13th Symposium on Piezoelectricity, Acoustic Waves and Device Applications (SPAWDA). 2019. P. 362.

18. Кузнецова И.Е., Смирнов А.В., Плеханова Ю.В. и др. // Изв. РАН. Сер. физ. 2020. Т. 84. № 6. С. 790.

19. Tomar M., Gupta V., Sreenivas K. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2003. V. 36. P. 1773.

20. Andrew J., Slobodnik Jr. // IEEE Trans. on Son. and Ultrason. 1973. V. SU-20. № 4. P. 315.

21. Койгеров А.С., Корляков А.В. // Микроэлектроника. 2022. Т. 51. № 4. С. 272.

22. Койгеров А.С., Балышева О.Л. // Изв. вузов России. Радиоэлектроника. 2022. Т. 25. № 5. С. 67.

23. Parker T.E., Schulz M.B. // Proc. IEEE Ultrasonics Symposium. 1974. P. 295.

24. Hickernell F.S. // Advances in Surface Acoustic Wave Technology, Systems and Applications. V. 1. Eds. Ruppel C.C.W., Fieldly T.A. Singapore: World Scientific, 2001. 324 p.

25. Goto R., Fujiwara J., Nakamura H. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 2018. V. 57. 07LD50.

26. Goto R., Nakamura H., Hashimoto K.-y. // 2019 International Ultrasonics Symposium. 2019. P. 2075.

Комментарии

Сообщения не найдены

Написать отзыв
Перевести