Везде
Проблемы высокодозной ионной имплантации ионов гелия в кремний
Оглавление
Аннотация Оценить Содержание публикации
Библиография Комментарии
Поделиться
QR
Метрика
Проблемы высокодозной ионной имплантации ионов гелия в кремний
Аннотация
Код статьи
S0023476124030155-1
Тип публикации
Статья
Статус публикации
Опубликовано
Авторы
Александров П. А.  
Аффилиация:
Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”
Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова Курчатовского комплекса кристаллографии и фотоники НИЦ “Курчатовский институт”
Выпуск
Том 69 Номер выпуска 3
Страницы
494-504
Аннотация
Рассмотрены закономерности изменения морфологии поверхности и развития пористой структуры монокристаллического кремния в зависимости от режимов ионной имплантации и отжига. Определены критические дозы имплантации для образцов до и после постимплантационного отжига, при которых наблюдается эрозия поверхности: имплантация ионами гелия до флюенса ниже 3 × 1017 He+/см2 без пост-имплантационного отжига не изменяет морфологию поверхности монокристаллического кремния; отжиг образцов, имплантированных флюенсом 2 × 1017 He+/см2 и выше, вызывает флекинг (образование чешуек (отслоение)).
Классификатор
Получено
04.09.2024
Всего подписок
0
Всего просмотров
14
Оценка читателей
0.0 (0 голосов)
Цитировать   Скачать pdf

Библиография

1. Follstaedt D.M., Myers S.M., Petersen G.A., Medernach J.W. // J. Electron Mater. 1996. V. 25. № 1. P. 157. https://doi.org/10.1007/BF02666190

2. Raineri V., Fallica P.G., Percolla G. et al. // J. Appl. Phys. 1995. V. 78. № 6. P. 3727. https://doi.org/10.1063/1.359953

3. Raineri V., Saggio M., Rimini E. // J. Mater. Res. 2000. V. 15. № 7. P. 1449. https://doi.org/10.1557/JMR.2000.0211

4. Griffioen C.C., Evans J.H., De Jong P.C., Van Veen A. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1987. V. 27. № 3. P. 417. https://doi.org/10.1016/0168-583X (87)90522-2

5. Evans J.H., Van Veen A., Griffioen C.C. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1987. V. 28. № 3. P. 360. https://doi.org/10.1016/0168-583X (87)90176-5

6. Corni F., Nobili C., Ottaviani G. et al. // Phys. Rev. B. 1997. V. 56. № 12. P. 7331. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.56.7331

7. Fichtner P.F.P., Kaschny J.R., Yankov R.A. et al. // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 70. № 6. P. 732. https://doi.org/10.1063/1.118251

8. Fichtner P.F.P., Kaschny J.R., Behar M. et al. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1999. V. 148. № 1. P. 329. https://doi.org/10.1016/S0168-583X (98)00714-9

9. Corni F., Calzolari G., Frabboni S. et al. // J. Appl. Phys. 1999. V. 85. № 3. P. 1401. https://doi.org/10.1063/1.369335

10. Cerofolini G.F., Calzolari G., Corni F. et al. // Phys. Rev. B. 2000. V. 61. № 15. P. 10183. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.61.10183

11. Da Silva D.L., Fichtner P.F.P., Peeva A. et al. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2001. V. 175–177. P. 335. https://doi.org/10.1016/S0168-583X (00)00567-X

12. Evans J.H. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2002. V. 196. № 1. P. 125. https://doi.org/10.1016/S0168-583X (02)01290-9

13. David M.L., Beaufort M.F., Barbot J.F. // J. Appl. Phys. 2003. V. 93. № 3. P. 1438. https://doi.org/10.1063/1.1531814

14. Pizzagalli L., David M.L., Bertolus M. // Model. Simul. Mat. Sci. Eng. 2013. V. 21. № 6. P. 065002. https://doi.org/10.1088/0965-0393/21/6/065002

15. Liu L., Xu X., Li R. et al. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2019. V. 456. P. 53. https://doi.org/10.1016/j.nimb.2019.06.034

16. Ono K., Miyamoto M., Kurata H. et al. // J. Appl. Phys. 2019. V. 126. № 13. P. 135104. https://doi.org/10.1063/1.5118684

17. Pizzagalli L., Dérès J., David M.-L., Jourdan T. // J. Phys. D. Appl. Phys. 2019. V. 52. № 45. P. 455106. https://doi.org/10.1088/1361-6463/ab3816

18. Ogura A. // Appl. Phys. Lett. 2003. V. 82. № 25. P. 4480. https://doi.org/10.1063/1.1586783

19. Van Veen A., Schut H., Hakvoort R.A. et al. // MRS Online Proceedings Library. 1994. V. 373. № 1. P. 499. https://doi.org/10.1557/PROC-373-499

20. Myers S.M., Bishop D.M., Follstaedt D.M. et al. // MRS Online Proceedings Library. 1992. V. 283. № 1. P. 549. https://doi.org/10.1557/PROC-283-549

21. Was G.S. Fundamentals of Radiation Materials Science. New York: Springer, 2017. https://doi.org/10.1007/978-1-4939-3438-6

22. Kótai E., Pászti F., Manuaba A. et al. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 1987. V. 19–20. P. 312. https://doi.org/10.1016/S0168-583X (87)80063-0

23. Qian C., Terreault B. // J. Appl. Phys. 2001. V. 90. № 10. P. 5152. https://doi.org/10.1063/1.1413234

24. Li B., Zhang C., Zhou L. et al. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2008. V. 266. № 24. P. 5112. https://doi.org/10.1016/j.nimb.2008.09.016

25. Alix K., David M.-L., Dérès J. et al. // Phys. Rev. B. 2018. V. 97. № 10. P. 104102. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.97.104102

26. Ziegler J.F., Ziegler M.D., Biersack J.P. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2010. V. 268. № 11. P. 1818. https://doi.org/10.1016/j.nimb.2010.02.091

27. Griffin P.J. // 16th European Conference on Radiation and Its Effects on Components and Systems (RADECS). 2016. P. 1. https://doi.org/10.1109/RADECS.2016.8093101

28. Arganda-Carreras I., Kaynig V., Ruedenet C. et al. // Bioinformatics. 2017. V. 33. № 15. P. 2424. https://doi.org/10.1093/bioinformatics/btx180

29. Jenc̆ic̆ I., Bench M.W., Robertson I.M., Kirk M.A. // J. Appl. Phys. 1995. V. 78. № 2. P. 974. https://doi.org/10.1063/1.360764

30. Han W.T., Liu H.P., Li B. // Appl. Surf. Sci. 2018. V. 455. P. 433. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2018.05.228

31. Yang Z., Zou Z., Zhang Z. et al. // Materials. 2021. V. 14. № 17. P. 5107. https://doi.org/10.3390/ma14175107

Комментарии

Сообщения не найдены

Написать отзыв
Перевести